民国二年(1913年)废府存县,改为沁阳县,因在沁河之北,故名。先后属河南省豫北道、河北道及第四行政督察区。
1949年建国后,改属平原省新乡专区,1952年平原省建制撤销,改属河南省新乡专区,1986年改属焦作市。
1989年9月27日经国务院批准,撤销沁阳县,设立沁阳市。沁阳市直属于河南省,由焦作市代管。
2000年,沁阳市辖4个街道、6个镇、6个乡:覃怀街道、怀庆街道、沁园街道、太行街道,柏香镇、崇义镇、西万镇、西向镇、紫陵镇、山王庄镇,木楼乡、王曲乡、葛村乡、王占乡、常平乡、王召乡。根据第五次人口普查数据,全市总人口446404人,其中:沁园街道 30988人、怀庆街道 28587人、太行街道 27400人、覃怀街道 24676人、西向镇 58569人、西万镇 36290人、柏香镇 34717人、山王庄镇 28913人、紫陵镇 26876人、崇义镇 33802人、王召乡 29430人、木楼乡 17718人、王占乡 17613人、葛村乡 22517人、王曲乡 19665人、常平乡 8643人。
2005年,沁阳市乡镇区划调整:撤销王占乡,将其行政区域划归王曲乡管辖,王曲乡政府驻地为中王占村;撤销木楼乡,将其行政区域划归王召乡管辖,王召乡人民政府驻地不变;撤销葛村乡,将其行政区域划归柏乡镇管辖,柏乡镇人民政府驻地不变,辖区面积83.2平方千米,人口5.9万人。截至2005年12月31日,沁阳市辖4个街道、6个镇、3个乡:太行街道、沁园街道、怀庆街道、覃怀街道;崇义镇、柏香镇、山王庄镇、紫陵镇、西向镇、西万镇;王召乡、王曲乡、常平乡。